扫描电镜的操作流程是怎样的
日期:2024-04-01
扫描电子显微镜(SEM)的操作流程通常包括以下步骤:
准备样品:
样品制备:将待观察的样品制备成适当的形状和大小,并确保其表面光滑、干净。
导电处理:对非导电性样品进行导电处理,以避免电荷积聚影响成像质量。
安装样品:
安装样品支架:将样品放置在样品支架上,并使用导电胶或夹具将其固定在位置上。
调整样品位置:调整样品位置和角度,使其处于高质量成像位置,并确保与电子束的路径正交。
真空抽气:
打开真空系统:启动扫描电镜,并打开真空系统,开始真空抽气。
稳定真空度:等待真空度稳定达到工作要求,通常在高真空状态下工作。
调节参数:
设置加速电压:根据样品性质和所需分辨率,设置合适的加速电压。
调节工作距离:调节电子枪和样品之间的工作距离,以保持适当的成像条件。
选择探针尺寸:根据需要选择合适的探针尺寸,以平衡分辨率和信号强度。
对焦和对准:
对焦样品:使用透射电镜或图像对焦功能,调整电子束的焦点,使其聚焦在样品表面。
对准样品:通过微调样品位置和角度,确保电子束垂直撞击样品表面。
开始成像:
启动成像程序:选择成像模式和参数,并启动成像程序,开始获取图像。
捕获图像:根据需要调整扫描速度和图像质量,捕获样品表面的图像。
分析和保存:
图像分析:对获取的图像进行分析和处理,测量尺寸、形状,分析表面形貌等。
结果保存:根据需要保存图像和分析结果,并记录相关参数和观察条件。
关闭设备:
关闭成像程序:完成成像任务后,关闭成像程序并停止电子束。
关闭真空系统:关闭真空系统,并按照操作规程安全关闭设备。
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作者:泽攸科技
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